快訊／竹科「晶圓原料」槽車翻覆！恐怖自燃氣體「矽甲烷」外洩

記者陳凱力／新竹報導

新竹科學園區雙園路一段和園區三路交叉口26日上午8時許，發生一起意外事故，事發當時一輛化學槽車上的鋼瓶氣體洩漏，而警消獲報趕往現場後發現，其洩漏物為矽甲烷，目前沒有明顯火勢，已劃警戒區及拉起水線警戒，並通知廠商到場處理。

▲化學槽車鋼瓶洩漏。（圖／記者陳凱力翻攝，下同）

警消於26日上午8時54分接獲通報指稱，上述路段有鋼瓶氣體洩漏，並立即派遣4車8人前往搶救，於9時4分抵達現場後發現，現場毒化物為矽甲烷，經警消搶救後，目前已無洩漏情形，而現場已架設砲塔，但廠商尚未到場處理，警消也已通報毒化災應變隊、火調人員、科管局。

矽甲烷性質概述：矽甲烷簡稱Silane，係由矽及氫合成，為半導體重要的原料，用於生產製成晶圓等，矽甲烷為自燃性氣體與空氣接觸便會自燃，並釋放出未結晶的二氧化矽。矽甲烷和水接觸後會形成矽酸 (silicic acid) 具有腐蝕性的危害。