陸晶片製造設備技術大突破 「離子注入機」全譜系產品國產化

▲中國電子科技集團子集團取得技術突破。（圖／翻攝新華社）

記者蔡紹堅／綜合報導

中國電子科技集團17日宣布，旗下裝備子集團技術突破，已成功實現離子注入機全譜系產品國產化，工藝段覆蓋至28奈米，為大陸晶片製造產業鏈補上重要一環。

中國電子科技集團表示，該集團旗下裝備子集團攻克系列「卡脖子」技術，已成功實現離子注入機全譜系產品國產化，包括中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機，工藝段覆蓋至28奈米，為大陸晶片製造產業鏈補上重要一環，為全球芯片製造企業提供離子注入機一站式解決方案。

受到消息刺激，大陸晶片概念股17日盤中發力走高，帝科股份、易天股份、中晶科技、蘇州固礙、首航高科等漲停，派瑞股份漲近12%，景嘉微、兆易創新漲幅超8%。

公開資料顯示，離子注入機是高壓小型加速器中的一種，它是由離子源得到所需要的離子，經過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流，廣泛用於摻雜工藝，可以滿足淺結、低溫和精確控制等要求，已成為集成電路（積體電路）製造工藝中必不可少的關鍵裝備。